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局所排気設備プラント/空調設備プラント

局所排気設備プラント

実際に設計・施工した局所排気設備プラントの一例です。


空調設備プラント

実際に設計・施工した局所排気設備とクリーンルーム内空調設備のプラントの一例です。
クリーンブースなどはすべて耐酸仕様(材質PVC製、FRP製、SUS製)で施工されたものです。


半導体工場HF用ドラフトチャンバー

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